MSB9-1:H7:N37:M2，費(fèi)斯托氣源處理組件，使用注意

特征

MS-LFR 和 MS-LF：

? 具有特性 E (40 μm) 或 C (5 μm)

的過濾等級(jí)

MS-LFM：

? 具有特性 B (1 μm) 或 A (0.01 μm)

的過濾等級(jí)

? 具有特性 DA 的過濾器污染

傳感器是配有紅綠量程的

光學(xué)壓差顯示器

? 具有特性 DP 的過濾器污染

傳感器是配有開關(guān)輸出的

電控過濾器污染顯示器

MS-LRB/LRPB：

? 在后端壓力輸出，如果選擇特

性 Z（備選流向），在前端

壓力輸出。

MS-LFM：

? 只有手動(dòng)冷凝水排放裝置允許

使用帶有塑料濾杯的 MS4-LFM

MS-DL：

? 過濾器 MS-LFR/LF/LFM 不在

MS4-DL 下游配備全自動(dòng)冷凝水

排放裝置

SFAM：

? 氣源處理裝置組合的接口

規(guī)格必須至少為

G?（針對(duì) SFAM-62）和

G?（針對(duì) SFAM-90）

? SFAM 不得直接安裝在減壓閥

MS-LFR/LR 的下游；分支模塊

MS-FRM 必須置于其中間

? SFAM-90 只允許流向從左到右

MS-SV-D/E：

? 必須是流向中的然后一個(gè)氣源

處理裝置

MSB9-1:H7:N37:M2，費(fèi)斯托氣源處理組件，使用注意